【財訊快報／記者李純君報導】全球晶圓代工龍頭台積電(2330)致力於精進能源使用效率，繼改造測試機台節省壓縮乾燥空氣（CDA）用量同步達到省電效果後，進一步針對無塵室中的外氣空調箱（Makeup Air Handling Unit, MAU）洗滌加濕系統改裝創新的濕膜板設計，有效節電80%。 截至民國111年5月為止，台積電揭露，共完成既有廠區266台外氣空調箱濕模板改裝，同時列為新建廠標準設計，並導入413台新設無塵烤箱製造外氣空調箱，總計節電1億4,900萬度，持續以具體行動落實綠色製造。
台積電也提到，外氣空調箱洗滌加濕系統持續升級，除既有廠區改裝外，新建廠區也將導入；預計至民國111年年底台積電既有廠區累計完成316台外氣空調箱改裝，增加節電1,100萬度，新建廠區則持續進行新機導入無塵烤箱製造廠商行動，實踐綠色製造承諾，朝永續共好目標邁進。
傳統外氣空調箱噴霧加濕系統以水做為質量傳遞的媒介，水泵將水加壓霧化、再由噴嘴將水細化成特定直徑水顆粒，進氣與水顆粒經過慣性撞擊、質傳、溶解等作用而去除空氣中微汙染物，以維持無塵室的進氣品質。
因介質板噴霧加濕系統受限於空調箱尺寸，無法增加霧化水顆粒與空氣接觸時間，洗滌水泵用電量占無塵室空調氣水輸送用電量20%。為提高能源使用效率，台積電攜手供應商共同研發無塵烤箱製造濕膜板，藉由細水霧依附於濕膜板上形成大面積水膜，以提高外氣滯留時間、增加氣流濕潤面積，使水膜可吸收更多外氣所含微汙染物，不僅強化洗滌效果，且水泵馬力變小，可減少80%用電量，達到節能效益。
來源：財訊快報
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